Министерство экономики рассмотрело и поддержало проект предложений о разработке программы Союзного государства “Разработка и организация производства специального технологического оборудования для изготовления сверхбольших интегральных схем уровня 0,5-0,25 мкм” и проект постановления Совета Министров Союзного государства “О ходе и результатах выполнения в 1996-2002 годах программ Союзного государства по созданию оптико-механического, контрольного и сборочного оборудования для производства сверхбольших интегральных схем и о предложениях по разработке программы Союзного государства в данной области на 2003-2006 годы”.
В рамках Союзного государства в области создания технологического оборудования для производства сверхбольших интегральных схем (СБИС) были утверждены программа “Разработка и создание оптико-механического и контрольного оборудования для производства сверхбольших интегральных схем с топологическими элементами 0,8-0,5 мкм” (срок реализации -1996-2000 гг.) и подпрограммы “Разработка и организация производства фотолитографического, контрольного и сборочного оборудования для изготовления сверхбольших интегральных схем (срок реализации-2000-2002 гг.).
Однако, из-за недостаточного финансирования из бюджета Союзного государства, указанные программа и подпрограмма выполнены на 60-70%. Продление срока реализации в соответствии с действующим Порядком разработки и реализации программ Союзного государства на один год не решит проблемы их практического завершения.
В связи с этим государственный заказчик-координатор (Минпромнауки России) и государственный заказчик (Минпром Беларуси) внесли предложение об объединении обеих программ и разработке на их основе программы Союзного государства в данной области на 2003-2006 годы.